台積電優化無塵室風機設計 運轉效率成功突破60%大關

台積電（2330）與供應商合作，針對無塵室內負責空氣輸送的風機過濾組（FanFilterUnit,FFU）進行結構優化，在維持原有尺寸與運轉條件不變的情況下，將風機運轉效率從55%提升至60%以上。實測數據顯示，單一廠區平均每年可節省156萬度用電，並減少約805公噸二氧化碳當量排放。截至民國114年9月，這項改良技術已部署於晶圓二十廠第1期及第2期、晶圓二十二廠第1期及第2期，以及先進封測七廠第1期廠區，總計安裝約4萬4,000台，持續落實綠色創新理念。晶圓製造廠房中的無塵室必須維持極高的空氣潔淨標準，風機過濾組扮演過濾空氣微粒、確保製程環境品質的關鍵角色。為提升運轉效能，台積電在設計上做出多項改進：首先將直流無刷馬達由內轉式架構改為外轉式，藉此增強轉軸力矩，確保風機在高扭矩需求下穩定運作；其次將扇葉直徑由400公厘擴大至448公厘，增加出風截面積以強化氣流穩定性。此外，團隊運用渦殼風道流場模擬技術，有效降低擾流現象、提高出風量，進一步改善空氣循環效率並減少能源消耗。台積電在節能領域的布局不僅限於風機效能改善，目前也同步評估膜板加濕器及空氣濾網在設計與材質上的改進方案，測試其節能減碳的實際效益。透過在確保製程穩定運作的前提下，全面提升空調系統的能源使用效率，朝綠色製造的永續目標持續邁進。