台積電推動化學品廢液循環再利用 年減碳量達3.1萬公噸

台積電積極建立綠色循環體系，透過「電子級化學品回收計畫」成功將異丙醇、四甲基氫氧化銨及環戊酮等化學品再生並重新應用於生產線。2025年，公司進一步針對黃光製程中廣泛使用的有機溶劑丙二醇甲醚(PGME)及丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)，與供應商合作開發廢液再利用技術。這項創新技術運用「源頭分流管理、製程參數優化、成分圖譜比對」三大作業流程，將廢液再製為符合台積電品質規格的電子級PGME/PGMEA。2026年1月，該技術已在晶圓十五B廠及晶圓十八A廠成功驗證，並計劃於第2季擴展至晶圓十四B廠、晶圓十五A廠、晶圓十五B廠、晶圓十八A廠及晶圓十八B廠。預計全面實施後，每年可減少新液採購量1.6萬公噸，減碳3.11萬公噸，實現資源循環的永續價值。PGME/PGMEA主要用於半導體黃光製程，包括晶片清洗、光阻稀釋及設備清潔。以往這些廢液經初步處理後，多被轉售至塗料、油墨與紡織品等工業級市場。隨著先進製程發展，這些化學品需求量持續增加，促使台積電與供應商共同開發更高效的回收再生技術。為克服廢液中不同溶劑沸點差異可能影響回收效率的挑戰，台積電建立了廢液源頭管理機制，精確分流不同純度液體。同時，透過調控蒸餾塔製程參數，有效去除有機雜質與金屬離子，確保高純度回收原料。供應商在出貨前還需進行有機成分圖譜比對，確保再生產品符合半導體製程的嚴格要求。台積電秉持「綠色力量的執行者」理念，積極響應聯合國第12項永續發展目標—責任消費與生產。除PGME/PGMEA外，公司也正評估醋酸正丁酯(NBAC)與氫氟酸(HF)的回收可行性，致力實現廢液高效回收與電子級再生材料量產化，為半導體產業的永續製造樹立新標竿。