中國深圳半導體設備廠商「新凱來技術有限公司」(SiCarrier)將於10月15日至17日的「灣區半導體產業生態博覽會」中,首度展出31款自製晶片製造設備,展現中國在半導體設備自主研發的重要里程碑。
這批設備涵蓋六大類別,包含原子層沉積(ALD)、外延沉積(EPI)、物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)、刻蝕(ETCH)與量測工具等關鍵製程設備。值得注意的是,新凱來也首次公開其研發多年的「多重圖形曝光技術」,此技術有望協助突破先進製程的技術瓶頸。
深圳半導體產業近年快速發展,2024年產值達人民幣2564億元(約新台幣1.1兆元),年增26.8%;2025年上半年更成長至1424億元,年增16.9%。在美國持續對中國實施科技制裁的背景下,新凱來此次的技術展示被視為中國推動半導體設備「去美化」的重要指標。
受此消息激勵,中國科創板半導體相關股票表現強勁,10月13日上證科創板半導體材料設備指數上漲1.03%,相關ETF也隨之上揚,顯示市場對中國半導體設備自主化發展持樂觀態度。
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